Các loại khí phụ được sử dụng trong máy cắt laser cho các vật liệu khác nhau là khác nhau. Áp suất và yêu cầu đối với khí phụ khác nhau tùy thuộc vào độ dày cắt. Về mặt chi phí, sử dụng oxy để cắt thép cacbon tương đối rẻ. Cắt thép không carbon tiêu thụ một lượng lớn nitơ, và thép không gỉ dày hơn đòi hỏi mức tiêu thụ nitơ cao và yêu cầu độ tinh khiết. Chi phí cũng tương đối cao.
Khí phụ của máy cắt laser chủ yếu được sử dụng cho:
1. Laser gas (máy phát laser dùng để tạo ra khí laser)
2. Khí nén (thường dùng để bảo vệ đường quang, một số nhà sản xuất còn dùng làm khí bảo vệ)
3. Khí phụ trợ (khí từ vòi cắt của máy cắt) được sử dụng để cắt thép carbon bằng oxy và yêu cầu độ tinh khiết của nó thường là 99,5% hoặc cao hơn. Chức năng chính là giúp đánh lửa và thổi bay xỉ cắt. Áp suất và tốc độ dòng chảy của mỗi nhà sản xuất máy cắt laser là khác nhau, điều này liên quan chặt chẽ đến kích thước của vòi cắt và độ dày của tấm vật liệu cắt. Yêu cầu chung là áp suất 0,3-0,8Mpa và phần vòi cắt thường là 0,02-0,05Mpa. Tốc độ dòng chảy kém, chẳng hạn như cắt thép carbon 22mm, một số nhà sản xuất đạt tốc độ dòng chảy 10M3/h (bao gồm cả oxy để bảo vệ vòi cắt đôi) và sử dụng nitơ để cắt thép không gỉ. Chức năng của nó là ngăn chặn các phản ứng oxy hóa và thổi bay xỉ. Yêu cầu về độ tinh khiết của nitơ tương đối cao (đặc biệt đối với thép không gỉ có đường kính từ 8 mm trở lên, thường yêu cầu độ tinh khiết là 99,999%). Yêu cầu áp suất tương đối cao, thường yêu cầu 1Mpa trở lên. Đối với thép không gỉ, nếu cắt trên 12 mm hoặc dày hơn đến 25 mm thì cần áp suất cao hơn, vượt quá 2Mpa trở lên. Tốc độ dòng chảy thay đổi tùy theo kiểu vòi cắt, nhưng chúng đều rất lớn. Ví dụ, khi cắt inox 12mm, một số nhà sản xuất có thể đạt 150m3/h, trong khi khi cắt 3mm, tốc độ dòng chảy chỉ cần dưới 50m3/h.